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多晶硅超纯水设备

来源:南昌水处理设备工程公司 责任编辑:南昌水处理工程师 发表时间:2019-02-01 15:48 点击:

  多晶硅超纯水设备概述

  多晶硅超纯水设备关键技术EDI技术与反渗透技术的有机结合,达到连续除盐、运行维护简单、无酸碱排放污染。多晶硅片、半导体器件等清洗过程中所需的纯水需要符合国家《电子级水质标准》18.2兆欧以上,目前最有效的制水工艺就是预处理加反渗透加EDI技术工艺。超纯水设备已被多晶硅清洗行业广泛应用。

超纯水设备
超纯水设备

  多晶硅超纯水设备技术指标

  1、脱盐率大于99。9%,效率远远高于两级反渗透和单纯的离子交换。

  2、较传统的离子交换法脱盐节约树脂95%以上。

  3、离子交换树脂不需使用酸碱再生,节约大量酸碱和清洗用水,降低劳动强度。

  4、清洁生产,无废水处理问题,利于环保。

  5、自动化程度高,易维护,可设计成完善的膜技术高纯水生产线。

河北11选5官网   6、产水电阻率15-18MΩ。cm,pH6。5-7。0,硅<1。0ppb,完全无菌。

  7、占地面积小,单一系统连续运转,不需建设备用系统。

  多晶硅超纯水设备处理工艺

  1、预处理系统-反渗透系统-中间水箱-粗混合床-精混合床-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)。

  2、 预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象 (≥18MΩ.CM)(新工艺)。

  莱特莱德公司生产的多晶硅清洗用超纯水设备主要是用于清洗多晶硅,该设备具有全自动化操作,运行成本低,满足多种工业清洗行业对水质的用水要求。

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